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真空装置数据采集系统开发研究

论文目录

致谢	第1-8页
摘要	第8-9页
ABSTRACT	第9-10页
目录	第10-12页
插图清单	第12-13页
表格清单	第13-14页
第一章绪论	第14-20页
·研究的目的与意义	第14页
·国内外发展状况	第14-19页
·镀膜机的发展	第14-16页
·数据采集系统的发展	第16页
·虚拟仪器技术的发展	第16-19页
·研究内容	第19-20页
第二章数据采集系统与虚拟仪器技术	第20-30页
·数据采集系统概述	第20-21页
·虚拟仪器概述	第21-25页
·虚拟仪器的特点	第22-24页
·虚拟仪器的组成	第24-25页
·LabVIEW 概述	第25-29页
·LabVIEW 的特点	第26-27页
·LabVIEW 的基本功能	第27-29页
·本章小结	第29-30页
第三章真空镀膜机及其过程量监测	第30-38页
·真空镀膜机的构成	第30-32页
·真空磁控溅射镀膜机的过程量监测	第32-37页
·热电偶	第33-35页
·电离真空计	第35-36页
·质量流量计	第36-37页
·本章小结	第37-38页
第四章数据采集系统硬件与软件的设计	第38-51页
·系统总体结构设计	第38页
·数据采集系统硬件的设计	第38-42页
·数据采集卡	第38-39页
·传感器信号调理电路	第39-42页
·数据采集系统软件的设计	第42-50页
·前面板程序界面的设计	第42-43页
·程序框图的设计	第43-50页
·本章小结	第50-51页
第五章系统运行与实验结果	第51-56页
·建立数据采集虚拟通道	第51-52页
·程序的调试	第52-54页
·运行结果	第54-55页
·本章小结	第55-56页
第六章总结与展望	第56-58页
·全文总结	第56页
·展望	第56-58页
参考文献	第58-61页
攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况	第61-62页

论文编号BS2237424，这篇论文共62页会员购买按0.35元/页下载，共需支付21.7元。直接购买按0.5元/页下载，共需要支付31元。

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