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P型GaN上AZO膜的制备及欧姆接触特性
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P型GaN上AZO膜的制备及欧姆接触特性
论文目录
中文摘要
第1-5页
英文摘要
第5-9页
1 绪论
第9-19页
·问题的提出及研究意义
第9-11页
·P-GaN 上难以形成欧姆接触的原因及解决思路
第11页
·P-GaN 透明电极的研究现状
第11-14页
·ZnO 薄膜的基本特性
第14-15页
·AZO 薄膜的光电特性
第15-18页
·本文的内容和创新点
第18-19页
2 AZO 薄膜的制备及表征方法
第19-30页
·直流磁控溅射方法
第19-24页
·直流反应溅射镀膜的基本原理
第19-23页
·薄膜制备的工艺特征
第23-24页
·实验方法
第24-26页
·检测方法
第26-30页
·X 射线衍射仪
第26页
·原子力显微镜
第26-27页
·霍尔测试仪
第27-28页
·分光光度计
第28-30页
3 AZO 薄膜结构与性能
第30-43页
·AZO 薄膜结构特性分析
第30-33页
·AZO 薄膜XRD 结果
第30-32页
·AZO 薄膜表面形貌分析
第32-33页
·AZO 薄膜电学特性
第33-37页
·AZO 薄膜的光学特性
第37-42页
·本章小结
第42-43页
4 Ni/AZO 与p-GaN 欧姆接触
第43-53页
·欧姆接触的原理
第43-44页
·欧姆接触的测试方法
第44-45页
·标准器件工艺
第45-47页
·P-GaN 的制备及透明电极的制备
第47-49页
·Ni/AZO 与P-GaN 的接触特性
第49-51页
·透明电极的光学特性
第51-52页
·本章小结
第52-53页
5 结论与展望
第53-55页
·结论
第53页
·后续工作的展望
第53-55页
致谢
第55-56页
参考文献
第56-60页
附录 攻读硕士学位期间获得的成果情况
第60-63页
论文编号
BS1550180
,这篇论文共
63
页
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