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全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究
 
     论文目录
 
摘要第1-7页
Abstract第7-10页
目录第10-12页
第1章 绪论第12-24页
   ·课题研究背景及意义第12-14页
   ·相关领域的研究现状第14-22页
   ·论文的主要研究内容和结构安排第22-24页
第2章 全息光栅曝光系统与干涉条纹相位锁定第24-50页
   ·引言第24-25页
   ·平面全息光栅静态曝光系统第25-26页
   ·干涉条纹相位变化对静态曝光的影响第26-34页
   ·扫描干涉场曝光原理与系统组成第34-41页
   ·工作模式与干涉条纹相位锁定第41-48页
   ·静态相位锁定与动态相位锁定对比第48-49页
   ·本章小结第49-50页
第3章 移频式干涉条纹静态相位锁定第50-64页
   ·引言第50页
   ·移频式静态相位锁定方法研究第50-55页
   ·移频式相位锁定系统的设计与实现第55-61页
   ·实验设计与实验结果第61-63页
   ·本章小结第63-64页
第4章 动态相位锁定关键方法与技术研究第64-84页
   ·干涉条纹动态相位锁定的基本原理第64-65页
   ·外差干涉测量方法与纳米级精度测量第65-74页
   ·差频计算板卡资源分配与高速数据采集第74-77页
   ·相位锁定控制系统硬件与软件设计第77-82页
   ·本章小结第82-84页
第5章 动态相位锁定控制算法研究第84-108页
   ·引言第84-85页
   ·动态相位锁定参考值数学模型第85-96页
   ·控制校正算法设计与仿真第96-107页
   ·本章小结第107-108页
第6章 动态相位锁定精度分析与实验结果第108-136页
   ·引言第108页
   ·动态相位锁定误差分析与精度计算第108-122页
   ·实验结果与分析第122-135页
   ·本章小结第135-136页
第7章 总结与展望第136-138页
   ·论文工作总结第136-137页
   ·展望第137-138页
参考文献第138-146页
在学期间学术成果情况第146-147页
指导教师及作者简介第147-148页
致谢第148-149页

 
论文编号BS2270785,这篇论文共149
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