| 摘要 | 第1-9页 |
| Abstract | 第9-12页 |
| 第一章 前言 | 第12-16页 |
| 第二章 文献综述 | 第16-39页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第16-18页 |
| ·ZnO的形态结构 | 第18-21页 |
| ·ZnO体单晶 | 第19页 |
| ·ZnO薄膜 | 第19-20页 |
| ·ZnO纳米结构 | 第20-21页 |
| ·ZnO的性能 | 第21-27页 |
| ·ZnO的能带结构 | 第21-23页 |
| ·ZnO的光电性能 | 第23-26页 |
| ·ZnO的压电和热电特性 | 第26-27页 |
| ·ZnO的铁电和铁磁特性 | 第27页 |
| ·ZnO的应用 | 第27-30页 |
| ·ZnO的缺陷 | 第30-32页 |
| ·ZnO中的点缺陷 | 第31页 |
| ·ZnO中的线缺陷和堆垛层错 | 第31-32页 |
| ·ZnO的掺杂 | 第32-39页 |
| ·ZnO的n型掺杂 | 第32页 |
| ·ZnO的p型掺杂 | 第32-39页 |
| 第三章 直流反应磁控溅射原理和工艺 | 第39-50页 |
| ·实驻设备 | 第39-41页 |
| ·直流反应磁控溅射技术原理 | 第41-45页 |
| ·实验工艺过程 | 第45-47页 |
| ·性能评价 | 第47-50页 |
| 第四章 In-N共掺实现p-ZnO的可行性分析 | 第50-64页 |
| ·Yamamoto的共掺理论 | 第51-52页 |
| ·Wang的共掺理论 | 第52-53页 |
| ·Yan和Zhang的共掺理论 | 第53-54页 |
| ·我们的思考和评论 | 第54-55页 |
| ·In-N共掺实现p-ZnO可行性分析 | 第55-61页 |
| ·从系统Madelung能量角度分析 | 第56-57页 |
| ·从N受主能级的态密度角度分析 | 第57-60页 |
| ·从电负性角度分析 | 第60-61页 |
| ·In-N共掺制备p-ZnO现状分析 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第五章 In-N共掺ZnO薄膜的p型表现 | 第64-78页 |
| ·In-N共掺p-ZnO薄膜的晶体质量 | 第64-66页 |
| ·In-N共掺p-ZnO薄膜的电学性能 | 第66-67页 |
| ·In-N共掺p-ZnO薄膜的光学性能 | 第67-69页 |
| ·In-N共掺p-ZnO薄膜的成分分析 | 第69-72页 |
| ·衬底温度对In-N共掺ZnO薄膜电学性能的影响 | 第72-73页 |
| ·衬底对In-N共掺ZnO薄膜性能的影响 | 第73-76页 |
| ·本章小结 | 第76-78页 |
| 第六章 In含量对In-N共掺ZnO薄膜的影响 | 第78-92页 |
| ·In-N共掺ZnO薄膜和靶材中In含量的对应关系 | 第78-80页 |
| ·In含量对In-N共掺ZnO薄膜电学性能的影响 | 第80页 |
| ·In-N共掺ZnO薄膜的电学输运机制 | 第80-82页 |
| ·In-N共掺p-ZnO薄膜中In、N元素的XPS分析 | 第82-83页 |
| ·In-N共掺p-ZnO薄膜关于最佳In含量的讨论 | 第83-86页 |
| ·In-N共掺p-ZnO薄膜的光致发光 | 第86-90页 |
| ·本章小结 | 第90-92页 |
| 第七章 村底温度对In-N共掺ZnO的影响 | 第92-102页 |
| ·衬底温度对In-N共掺ZnO薄膜性能的影响 | 第93-95页 |
| ·衬底温度影响In-N共掺ZnO薄膜导电类型的机制 | 第95-96页 |
| ·缓冲层对In-N共掺p-ZnO薄膜性能的改善 | 第96-98页 |
| ·In-N共掺ZnO同质p-n结的制备 | 第98-100页 |
| ·我们的思考和展望 | 第100页 |
| ·本章小结 | 第100-102页 |
| 第八章 ZnO其它相关掺杂研究:退火温度对ZnO:Li薄膜的影响 | 第102-110页 |
| ·引言 | 第102-104页 |
| ·实验参数 | 第104页 |
| ·退火温度对ZnO:Li薄膜电学性能的影响 | 第104-105页 |
| ·p-ZnO:Li薄膜关于最佳退火温度的讨论 | 第105-107页 |
| ·p-ZnO:Li薄膜的光致发光 | 第107-109页 |
| ·本章小结 | 第109-110页 |
| 第九章 ZnO其它相关掺杂研究:Ar/O_2比对Cd_xZn_(1-x)O薄膜的影响 | 第110-121页 |
| ·引言 | 第110-113页 |
| ·实验参数 | 第113页 |
| ·Ar/O_2比对Cd_xZn_(1-x)O薄膜晶体质量的影响 | 第113-115页 |
| ·Ar/O_2比对Cd_xZn_(1-x)O薄膜带隙的影响 | 第115-117页 |
| ·Cd_(0.1)Zn_(0.9)O薄膜的XPS分析 | 第117-119页 |
| ·Cd_(0.1)Zn_(0.9)O薄膜的表面形貌分析 | 第119-120页 |
| ·本章小结 | 第120-121页 |
| 第十章 结论 | 第121-124页 |
| 参考文献 | 第124-133页 |
| 致谢 | 第133-134页 |
| 作者博士期间发表的论文 | 第134-135页 |
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